Doctorado en Ingeniería Electrónica y de Telecomunicación

Infraestructuras para la investigaciónAparte de los recursos materiales que la UAB pone a disposición de los programas de doctorado para el desarrollo de las actividades de formación e investigación, el doctorando de este programa tiene a su alcance las siguientes infraestructuras para la investigación, gracias a los convenios que se mantienen con diferentes centros como el Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM, CSIC, el Centro de Investigación Biomédica en Red en Bioingenieria, Biomateriales i Nanomedicina, CIBER-BBN, el Instituto de Estudios Espaciales de Catalunya, IEEC del CERCA, entre otros:Sala blanca con equipos de ataque húmedo, grabado seco (RIE), procesado térmico por oxidación, recocido y deposición, deposición química (CVD), deposición de capas atómicas (ALD), implantación iónica, metalización, fotolitografía, etc.Sala limpia de nanolitografía con los equipos: Litografía por haz de electrones (EBL), litografía mediante AFM, litografía nanoimprint (NIL), haz de iones focalizado (FIB) y microscopios electrónicos.Plataforma CNM-CIBER para fabricación de Micro-nanosistemas.Equipo para crecimiento de NTCS y funcionalización.Facilidades de fabricación de microsistemas sobre sustratos poliméricos COP, SU-8, silicona, poliamida, metacrilato, etc.Fabricación de electrodos a Al, Au Ti o Pt y recubrimientos selectivos con Óxido de Silicio, con Nitruro de Silicio, Platino negro.Laboratorio de microsistemas con tecnologías de grabado húmedo y lift-off. Procesos anisotrópicos y de grabado con KOH y HF vapor.